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分子束外延(MBE)

2006-08-05  | 【打印】【关闭

分子束外延(MBE)

 

  此图是我公司为中科院半导体所材料科学实验室从美国引进MODULAR GEN II 型分子束外延设备,用于开展“纳米半导体结构材料和量子器件的基础研究和应用开发”。目前,该设备承担有国家和中国科学院创新工程多项科研任务。主要开展应变自组装量子点、量子线、量子阱等纳米结构材料及相关器件的研究和应用开发。该MBE设备使材料制备技术有了一个很大的提升,使材料生长在均匀性、稳定性、小批量生产等方面得到有效的保障。